二手 PLASMA ECS-2000P #9249383 待售

PLASMA ECS-2000P晶片和掩模洗涤器利用了广泛的先进技术来产生优异的效果。洗涤器的特点是获得专利的5区旋转刷子，它不仅消除晶圆和掩模表面上的颗粒，而且还轻轻擦洗和抛光表面，以达到均匀的光洁度。脉冲等离子体清洗设备可以快速清除晶片表面的颗粒，防止先前过程中的污染堆积。此外，洗涤器采用超声波清洗技术，进一步擦洗和抛光晶圆和面膜表面。光束传感器被集成到ECS-2000P中，以检测晶圆和掩模表面上的粒子和碎片。传感器使用三波长激光光学器件精确识别和测量小至10nm的粒子大小，从而能够快速去除。传感器与洗涤器完全集成，保证了高质量、无颗粒的效果。等离子体ECS-2000P是为可靠性和耐用性而设计的。其坚固的结构设计可承受最恶劣的制造环境,其易于清洁的工艺室可确保无论环境如何都能获得最佳效果。洗涤器利用许多先进的安全功能为人员和产品提供最佳安全。该系统设有故障安全操作单元、泄漏检测和预防措施以及单独密封的化学品密封通道，以便安全处置。该机还拥有先进的湿度控制工具，以确保无论环境如何都能得到一致的清洁效果。ECS-2000P的工作温度范围很广,为1至99摄氏度,包括各种通信功能,可与其他系统连接和集成。用户界面是直观的，包括触摸屏功能，以简化洗涤过程。洗涤器还配备了用于远程访问和监视的以太网端口。PLASMA ECS-2000P确保满足并超过晶圆和掩模洗涤行业标准。它结合了先进的技术、先进的安全特性和可靠的结构，是精密清洁操作的理想选择。