二手 ROHDE & SCHWARZ PSL3 #9186395 待售
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ROHDE&SCHWARZ PSL3是一种先进的晶圆和掩模洗涤器,可对直径不超过300 mm的金属和非金属基板进行精密洗涤。洗涤器通过使用纳米技术刷子和集成的清洁头提供卓越的清洁性能。该装置设计有先进的控制系统,以便进行高效和精确的洗涤。该装置采用先进的清洁头和刷子,在每次冲程时均能产生均匀的洗涤压力和运动。每个纳米技术刷头都被编程为擦洗每种基材所需的确切表面积。这样可以进行精确清洁,同时最大程度地减少对表面的任何损坏。电刷通过能够产生高达2000 RPM的速度的电动机驱动。此外,清洁头还具有高达+/-30度的陡角调节功能,以及可重复清洁过程的角度切换功能。非金属底物用乙酸戊酯清洗,乙酸戊酯由外部来源供应或在单元内再循环。此外,该装置还具有超声波清洁功能,能够用空气或氮气干燥基板。该单元利用直观的人机接口(HMI)控制洗涤和干燥模式以及数据记录。此外,它还通过TCP/IP网络支持远程访问监视(RAMP),用于监视位于其他位置的洗涤器。PSL3专为坚固可靠的性能而设计,用于洁净室和腐蚀应用。其钣金外壳提供防尘和防油功能,并具有可捕获小至0.1 μ m颗粒的集成过滤器系统。ROHDE&SCHWARZ PSL3为需要精确和可重复洗涤和清洁的洁净环境提供高端效果。其精密的控制系统、精密的刷头和可重复的洗涤工艺在清洗金属和非金属表面时提供了优异的效果。
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