二手 SAWA SC A22 #9157623 待售

SAWA SC A22是一种自动化晶片和掩模洗涤器，旨在以最小的磨损快速去除晶片和掩模等平坦表面的颗粒和粘附残留物。这种洗涤器在生产过程中可用于清洁光掩模、裸硅晶片和磨料晶片。还用于制备用于后期生产处理的基材，如电镀、湿洗或粘合。SC A22配备了一系列刷牙和真空技术，以提高清洁效率，减少颗粒产生，增强表面准备。SAWA SC A22利用了强大的双刷子设备，包括具有高频振荡的软、中、硬刷毛的刷垫，以搅拌和悬浮粒子远离晶圆和光掩模表面。这种双刷子系统集成了高效真空单元，以确保有效去除颗粒，同时仍能防止颗粒重新沉积。还集成了气刀，方便冲洗和吹散碎屑。洗涤器每个周期可容纳四个晶片和四个口罩。基板固定装置锁定在一个平移驱动机器中，该机器在基板固定装置和擦洗头之间移动擦洗臂。洗涤头可以调整，以允许对刷牙和真空功能的精确控制。这允许根据特定应用程序优化各种流程参数。内置压力传感器还可确保洗涤压力在预编程设置内。SC A22配备了用户友好的控制工具，包括监控、编程、诊断和OEE（整体设备效率）功能。控制资产采用12.1英寸液晶触摸屏,内置远程访问功能,可实现长途操作。机器还可以被编程为在启动时自动运行，存储的清洁配方可以被添加和编辑以进行重复运行。内置的操作员模型警报会通知操作员任何不规则的情况。SAWA SC A22是广泛应用半导体的理想洗涤器。这台机器可靠、可重复、易于操作和维护。因此，这种洗涤器非常适合用于需要高水平工艺控制和生产线稳定的生产线。