二手 SSEC 3204 #9032546 待售
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SSEC 3204是一种晶片和掩模洗涤器,设计用于半导体蚀刻、光刻和其他需要从圆盘和平板基板表面去除污染物的工艺。洗涤器由机械头、控制设备和外壳三个不同的部分组成。机械头是一个被包裹在保护性外壳中的旋转臂。手臂附着在刷状的擦洗头上,该擦洗头快速旋转以有效清洁晶片和口罩。洗涤头由各种材料组成,视应用情况而定。许多是由尼龙或其他聚合物构成的,这些聚合物的设计目的是在不破坏表面本身的情况下清除污染物。机械头还包含允许远程管理和监视擦洗过程的传感器。洗涤器的控制系统由一个微控制器组成,该微控制器连续监测洗涤器的过程。控制单元由多个连接组成,包括USB连接,该连接允许从中心位置设置和监视擦洗设置。控制机还包括多项安全功能,如RPM调节和紧急关机,可以远程激活。最后,3204的壳体被设计成同时降低噪音和灰尘。外壳由许多相连的金属板组成,产生低灰尘和噪声密封。此外,外壳配有若干过滤器,以确保在洗涤过程中产生的灰尘完全包含在洗涤器外壳内。总体而言,SSEC 3204被设计成一种可靠且易于使用的晶圆和掩模擦洗工具。耐用的机械洗涤头、先进的控制资产、无声无尘外壳的结合,使3204成为半导体和光刻洗涤应用的理想选择。
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