二手 SSEC 3300 #161552 待售
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ID: 161552
Resist Coater and Developer System, 6"
Cassette to cassette
(1) resist coat module
(2) developer stations
HMDS
(3) hot plate ovens
(1) cool plate
208V/3/60hZ/30A
Includes Dell Computer and Flat Panel Monitor
2006 vintage.
SSEC 3300是一种晶圆和面膜洗涤器,设计用于清洁和剥离薄而易碎的表面。它是一种高容量、高速洗涤器,一次最多可处理150个晶圆或30个掩模。它使用由柔软、非磨料材料制成的磨盘,如毛毡和闭环水系统,以提供受控、一致的清洁动作。磨盘在垂直轴上旋转,可调节到五个速度,允许进行定制的清洁操作,该操作足够轻柔,以防止在清除污染物时造成表面损坏。3300的设计包括一个圆形洗涤器头,夹在晶圆或面膜上,并喷洒水基清洁溶液。这种洗涤作用还得到一个可调节的淋浴喷嘴的补充,该喷嘴允许释放压力,从而实现控制和一致的清洁。洗涤器采用高速液冷电机进行高效处理,最大洗涤器转速高达36,000 RPM。SSEC 3300还有一个计时器,最多有三个定时控制周期,允许精确和可重复的清洗。一个独立的水阀可以方便地控制洗涤流量,使不同浓度的清洁溶液能够达到理想的清洁效果。有一个压力表可用来监测流量,从而可以控制洗涤力和压力。3300是为安全起见而设计的,其特点包括非滑动底座、在洗涤器操作时自动关闭的安全开关,没有适当的晶圆或面罩,以及内置干燥机,以确保适当干燥和避开水斑。此外,洗涤器还有一个排气系统,以确保适当的通风和酒精检测,以检查水系统中的乙醇污染。总体而言,SSEC 3300是一种高性能、可靠的晶圆和掩模洗涤器,可有效、安全、轻柔地从细腻的表面清除有害污染物。它结合了可调速度、压力和液冷电动机,使其成为任何晶片或面罩清洗程序的理想选择。
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