二手 SSEC 3300 #293628379 待售

SSEC 3300是由Surface Processing Technologies（SPT）开发的晶圆和掩模洗涤器。它是一种自动化机器，旨在彻底清洁和去除半导体和光掩模表面的粒子。坚固、自封闭的设备可为晶圆和器件表面提供高精度的颗粒和除尘,从而实现快速且可重复的结果,使客户满意。该系统采用表面清洁技术和改进的空气辅助工艺，以清除最小的颗粒和污染物，使基板和装置表面保持清洁和不受影响。3300设计用于半导体、数据存储器、光电、显示器制造等行业。采用三阶段清洗工艺；第一阶段涉及以0.05毫升/分钟的速度排水。第二级是带有过滤器的旋转洗涤器以清除碎屑，而第三级是雾化器和干燥器以蒸发水分和前两级后留下的颗粒。SSEC 3300结合了直观的触摸屏显示来监视清洁过程。该单元包括自动润湿、洗涤、干燥功能以及实时粒子计数器监控和最多500组以前的结果的存储容量。此外，该机采用低氧扩散室，并配有EU302过滤排气机，将空气中的颗粒保持在最低限度。由于3300的空气辅助工艺,晶圆和器件表面不会受到损坏。这消除了手动洗涤的需要,并提高了过程的准确性、安全性和环境合规性。该工具还能够每小时快速清洁多达30个晶圆，并且在40°C的环境温度下运行，没有额外的环境控制。SSEC 3300易于维护,并且需要最低限度的维护才能继续运行。它采用自我检查资产和错误指示设计,为质量标准严格的企业提供完整的模型控制、准确性和可重复性。设备还能够进行动态定制和安装,使每个客户都能根据自己的特殊需要定制系统。