二手 SSEC 3300 #9225597 待售

SSEC 3300是由Suss MicroTec, Inc制造的晶圆和面膜洗涤器。它旨在减少晶片和掩模在设备制造过程中应用光致抗蚀剂之前的表面污染。3300采用超声波和喷射洗涤技术相结合，以最小程度地损坏基板，达到高质量的效果。SSEC 3300运行时功耗为5.5kW,额定压力为3.2MPa。它提供了多达128个不同清洁周期设置和5个喷嘴配置的清洁变量。该单元配备了可调振荡频率，提供了良好的洗涤器参数控制。洗涤器设计有直径200毫米的清洁床，容量可达20个晶圆/掩模。它还有一个3轴机械臂，用于装卸晶片。3300使用涡轮分子真空泵，以便在封闭的腔室中创造高水平的真空。这对于确保在洗涤过程中从晶片中完全去除颗粒、碎屑和其他小颗粒是必要的。真空功能也将洗涤溶液推入目标区域。这使得擦洗过程非常有效，确保没有留下的无菌口袋。洗涤器的压力控制设备旨在确保洗涤压力在每个循环过程中均匀分布在晶圆和掩模的整个表面上。SSEC 3300还有一个监控系统，对操作压力、水流率、温度等参数提供准确监控。这确保了一致的高质量结果。3300采用可编程逻辑控制器设计，用于控制和监控洗涤器的所有参数。这有助于提供一致的结果和高效的操作。此外，该装置还有一个先进的紫外线LED装置，用于辐射灭菌。这台机器可以在擦洗后对晶片和口罩进行消毒，以尽量减少污染。总体而言，SSEC 3300是一种有效的晶片和掩模洗涤器，其设计目的是在设备制造过程中使用光致抗蚀剂之前减少污染。凭借其先进的技术，它提供了出色的表面清洁，以及精确的监测和控制参数。它旨在提供高效的操作、一致的结果和高质量的完成。