二手 SSEC Evergreen 300ML Series III #9230467 待售

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ID: 9230467
晶圆大小: 12"
Wafer / Mask scrubber, 12" Up to 3000 PSI Windows interface Non-adjustable legs Maintenance manuals are included.
SSEC Evergreen 300ML Series III是一种全自动晶片和掩模洗涤器,设计用于清洁和制备光掩模、网罩和其他扁平LSI组件。该洗涤器配有两个独立的清洁室,分别提供校准和可控的清洁和洗涤操作。第一种是注洗室,采用注射法补充液体,为洗涤器的清洁作用提供动力。洗涤器配有电子调节的背压阀和喷嘴,用户可以精确控制和改变流体分布,最大限度地提高清洁效率,同时最大限度地减少颗粒在晶片表面的重新分布。第二室是面膜和晶圆室,旨在为面膜和晶圆提供清洁环境。该腔室包含两级洗涤器机构,提供同时紧凑的湿洗和全表面湿洗,电解等离子弧清洗和加速冲洗动作。两级洗涤器机构可自由调整,允许特殊的清洁模式,提供灵活高效的清洗过程。洗涤器进一步配备了粒子观察窗口,允许用户监控颗粒大小和数量。洗涤器还安装了用户友好的图形用户界面(GUI),提供了简单的操作和简化的远程设置。洗涤器可方便、安全地操作和维护,因为它是为自我诊断而设计的,并具有多个操作和安全监控警报。总体而言,Evergreen 300ML Series III晶片和蒙版洗涤器提供高效可靠的清洁过程,确保在制备过程中部件的最佳质量。这款功能强大的洗涤器具有自动化控制和功能丰富的特性,是各种行业的理想选择,在清洁和制备光掩模、标线和其他易碎的LSI组件时,都需要精确度和均匀性。
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