二手 SSEC Evergreen 50 #161265 待售

SSEC Evergreen 50 Wafer&Mask Scrubber是一款用于半导体制造的高性能设备，专为最苛刻的半导体制造和研发活动而设计。该系统旨在提供卓越的清洁、研磨、抛光和洗涤精度。Evergreen 50是一个用途广泛的单元，能够处理晶圆尺寸达8英寸的晶圆和掩码以及主要的扁平应用，并且可以处理多种晶圆材料，包括硅、SOI、GaAs、SiGe、InP等等。该机器设计为以高达16,000 RPM的速度运行,可提供高达1.2 μ m/分钟的高拆卸速率,并可选择多种清洁和抛光介质、垫子和抛光。SSEC Evergreen 50具有HiFlo™的Multi-Station循环气流和液体雾化平台,可控制过程、重复性和微调清洁过程。控制工具包括带有Fusion™软件包和远程控制操作的PHS Group伺服驱动器。新开发的SSEC集成轴承资产（ISB）提供了卓越的刚度、准确性和可重复性,可减少动态误差并改善表面质量。其集成轴承模型和一流的设计凭据消除了传统轴承定位的不准确性，改善了平整度和缺陷控制。Evergreen 50专为即插即用的能力而设计，并捆绑了广泛的附件，包括晶片盒、晶片碗和可快速方便地装卸晶片和口罩的口罩盒。除了卓越的性能外，SSEC Evergreen 50还提供出色的光学和散热性能以及较低的功耗率，这两者都有助于将运营成本降至最低。该设备的设计符合最苛刻的规格，包括国际半导体技术路线图的规格，确保了可靠和一致的结果。总之，Evergreen 50是一款先进、高性能的晶圆和掩模洗涤器，专为最具挑战性的半导体制造和研发应用而设计。它是晶片清洗、研磨和抛光的理想选择,因为它具有出色的清洁和抛光效果,具有优异的光学和热性能,同时还具有较低的功耗。所有这些使得SSEC Evergreen 50成为半导体制造专业人士的首选。