二手 SVG 18 DWC #58186 待售
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ID: 58186
晶圆大小: 2"-5"
优质的: 1987
Double sided wafer cleaner for Si wafers, 2"-5"
Model no: 8120
(2) Brush stations
Cassette to cassette loading
Spin dryer
Missing belts and brushes
Power requirements: 220 V, 50 Hz
1987 vintage.
SVG 18 DWC是一种晶圆和掩模洗涤器,设计用于半导体制造环境中。这个洗涤器是由晶片级、掩模级和双头晶片洗涤器组成的三级机器。晶片级由单个电动头和四个表面组成,用于洗涤。每个表面都是为了提供一个洗涤方向,以便从晶圆表面去除颗粒。蒙版舞台使用可调节的双头洗涤器清洁蒙版表面的蒙版材料。这一阶段包括一个用于低压清洁的浮动刷子,以及一个用于清除灰尘、研磨沙子和其他来自掩蔽表面的坚硬颗粒的喷雾。双头晶片洗涤器的设计提供了一个用于清洗晶片表面的两层工艺。第一个头设计为使用低压擦洗来清除小污染物。第二个头设计为使用高压喷雾喷嘴去除更大、更持久的颗粒。SVG 18DWC设计为与其他晶圆或掩模清洗机结合使用。它可以用来在进入湿酸浴之前预先清洗一个表面,或者在湿酸浴剥去任何较大颗粒后再清洗一个表面。这个洗涤器还包括可选的液体检测和监控设备,以及一个控制模块,允许在用户的洗涤过程中的灵活性。模块包括用于监视洗涤过程的可视监视器,以及用于控制洗涤参数的可编程逻辑控制器(PLC)。总体而言,18 DWC是一种可靠、高效的洗涤器,能够在半导体制造设施中从晶圆和掩模表面去除大小颗粒。它是一个伟大的补充,以清洁机器的范围内可用于去除半导体器件颗粒。
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