二手 SVG 600 HT Micralign #293655054 待售
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SVG 600 HT Micralign是一种晶圆和掩模洗涤器，设计用于清洁和对齐半导体制造的基板。该洗涤器针对高温应用进行了优化,能够承受高达600°C （1112 °F）的温度。其设计采用旋转运动和可调节的清洁压力和角度相结合的方式，有效地去除面罩和晶片中的污染物和颗粒，而不会损坏细腻的表面。洗涤器具有先进的电子平台，允许精确编程，以准确和重复清洁基板高效。内部显微镜允许对清洁过程进行精确的目视检查和反馈。洗涤器由三个主要部件组成：清洁头、旋转驱动器和检查/驾驶平台。清洁头采用双同轴磨刷装置。在清洁头可调节的压力和角度的帮助下，双磨料刷牙动作将颗粒一直清除到基板边缘。旋转驱动器用于驱动清洁头的运动，允许在基板上进行精确的清洁运动。旋转驱动器的设计非常可靠,能够加速至高达10,000 RPM的速度,以实现快速有效的清洁。检查/监控平台允许使用内部显微镜对清洁过程进行精确的目视检查。它还允许数据记录和分析整个清理过程中使用的参数。总体而言，600 HT Micralign是一种先进的晶圆和掩模洗涤器，专为高温应用而设计。它是为精确可靠的清洁而设计的，为制造商提供了一致生产优质基材所需的性能。
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