二手 SVG 8600 #293586853 待售

SVG 8600是一种晶片和掩模洗涤器，设计用于清洁光刻用晶片和掩模的表面。它是一种自动化设备，利用轻柔的磨料擦洗运动从细腻的表面清除污染物。8600是一个自动化、用户友好的系统,旨在简化晶片和口罩的洗涤过程。它配备了可编程逻辑控制器，用于洗涤元件的精确运动，包括洗涤的最佳速度和角度。该机组还具有可调节的温度控制，以防止晶圆和掩模因热而损坏。SVG 8600的洗涤过程通常是在异丙醇（IPA）和去离子水溶液中完成的，以便松开和清除灰尘、颗粒或有机膜等污染物。它能够用超柔软的高级尼龙编织擦洗垫擦洗平坦或弯曲的表面。用户有能力定制洗涤器动作，以满足特定工艺的要求，包括洗涤器的方向、速度和压力。8600还包括一个单独的自动化废水收集和过滤机器，它收集和过滤被洗涤的污染物。然后再循环利用废水，以尽量减少浪费和节约资源。SVG 8600附有一个大型的用户友好图形界面，设计方便操作。它还具有多种安全功能，包括大型安全笼、微型开关和光栅保护都是为了保证操作员在操作过程中的安全，以及防止空气传播污染。8600是去除光掩模、标线、基板等污染物的理想选择,确保在开始任何光刻工艺时达到最高水平的清洁度。它是一种可靠且经济高效的工具,旨在确保高效、可重复和一致的洗涤过程。