二手 SVG 8600 #293652301 待售

製造商
SVG
模型
8600
ID: 293652301
Coater / Developer system.
SVG 8600是一种晶片和掩模洗涤器,设计用于在半导体过程中清洗晶片和掩模。它由低振动、高扭矩的电动机提供动力,包含一系列单独的模块,包括不锈钢清洁罐、超声波换能器阵列和往复式清洁臂。清洁罐作为化学清洗的主要部件,由自动化的化学喷射设备和化学储存容器组成。该系统使选择的化学品能够添加到清洁罐中,确保在该过程中进行化学辅助清洁。此外,储罐能够容纳300毫米大小的晶片。超声波换能器阵列作为洗涤单元的主要部件。当被激活时,传感器会产生微小的高频振动流,然后通过充满喷射的清洁液进行投射。这种流体有助于去除晶片表面的污垢和其他物质,使其保持清洁,并为后续的过程做好准备。最后用往复式清洁臂在罐体上来回移动晶片,以确保整个表面积均匀清洁。该臂能够携带多个尺寸达300毫米的晶片,在此过程中可以行进到50毫米。综上所述,8600晶片和掩模洗涤器是一种高效的机器,利用多个交互模块,用于去除晶片和掩模中的污染物。洗涤器由低振动、高扭矩的电动机提供动力,并设有自动化的化学喷射机、超声波换能器阵列和往复式清洁臂。在使用时,这些元件协同工作以清洁晶圆和掩模表面,从而实现快速高效的半导体工艺生产。
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