二手 SVG 8600 #293758579 待售

SVG 8600是晶圆和面膜洗涤器，来自SVG的先进干湿清洗设备。该系统为当今微光刻密集型半导体和平板显示器（FPD）生产线提供高效、可重复的清洁和优化处理。它配备了1类硬质外壳和侧面加载机构,可容纳晶圆和掩模基板-无论是平面还是盒式。洗涤过程从获得专利的大气压力等离子体射流开始，该射流经过优化以去除晶圆或掩模基板表面的颗粒、薄膜和残留物。这种等离子体射流发展出一种表面电荷，使过程能够去除高电荷金属，如铜和铝。其次，复合洗涤技术采用积极的机械运动结合专用润滑剂来去除污染物，从而更有效地清洁。为进一步提升洗涤工艺，8600采用多阶段洗涤。这次洗涤使用高压、去电离喷雾，提供比目前市面上任何单级机组都更完整、更彻底的清洗。喷雾从一排先进喷嘴中释放出来，这些喷嘴被设计用来覆盖基板的整个表面。除了增强的洗涤能力外，SVG 8600还具有多种精密测量功能，以监控和控制清洁过程。该机器具有接触间距和晶圆直径的测量，以及一个边缘跟踪工具，允许精确的过程控制。最后,8600具有广泛的软件功能,使其能够轻松集成到现有的流程控制体系结构中。它的重复清洁单元（RCC）子系统软件不仅使清理过程自动化,而且还便于数据收集和分析,以确保从运行到运行的可靠和一致的结果。这样，它确保了所有类型的基板和应用的最高质量的清洗。总体而言,SVG 8600提供了强大而精确的洗涤资产,旨在最大限度地提高质量并最小化周期时间。凭借其先进的清洁工艺和广泛的测量，它提供了一个干净和一致的表面光洁度，以及卓越的可靠性和可重复性。8600是任何微光密集型生产线的理想选择。