二手 SVG 8600 #293758581 待售

SVG 8600是一种自动化晶片和掩模洗涤器,旨在高效清洁和制备晶片和掩模表面以进行额外制造。洗涤器利用旋转刷子设备进行洗涤，以清除表面污染物，如金属颗粒和金属氧化物，以及光致抗蚀剂残留物。旋转刷可彻底、均匀地清除临界边缘部分的残留物,而不会损坏细腻的晶片或掩模表面。这样就不需要手动擦洗,从而实现了更经济高效的生产过程。洗涤器配有双刷子，一般使用的标准刷子和粗糙或困难应用的专用刷子。标准刷子的设计提供了温和的擦洗动作，而特殊刷子的擦洗动作高达标准刷子强度的十倍。这使得洗涤器能够瞄准最坚韧的残留物类型，使晶圆或掩模表面保持清洁，并做好额外处理的准备。洗涤器有一个清洗罐，容积可达6升。这允许同时使用多个晶片或掩码以实现吞吐量和效率。洗涤器既能湿洗又能干洗，适合各种基材和应用。洗涤器包括一个输送机，用于将晶片和口罩送入和送出清洁罐。传送带是可调的，允许对洗涤运动的精确控制。皮带转速可设定为0至600 rpm，提供对洗涤动作的控制。洗涤器由专有的微处理器控制系统驱动，该系统监视和控制洗涤器的操作。该单元具有具有警告和警报功能的自诊断机,以及基于计时器的高级作业调度工具。总体而言，8600是一种强大而可靠的晶片和掩模洗涤器，旨在实现准确和高效的基材制备。其双刷子、可调输送机和微处理器控制资产的结合，使其成为许多晶圆和掩模清洁应用的理想设备。