二手 SVG 8600 #9186279 待售
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SVG 8600是晶圆和掩模洗涤器,由SVG光刻公司开发。它专为洁净室环境而设计,是清洁半导体晶片和标线(蒙版)的理想之选。8600采用无化学洗涤工艺,使其环保。其流体和化学用量低,产生的废物极少。洗涤器采用专有的刷洗工艺,高效有效地去除产品中的颗粒和污染物。它使用加压清洁液提高洗涤功效。SVG 8600洗涤器有三级清洗工艺。首先,加压液体施加在产品上,以松开和悬浮颗粒和污染物。然后一片刚毛靠着产品旋转,擦洗掉碎片和颗粒。最后,用一系列流体射流冲洗剩下的粒子。洗涤器还使用强制空气干燥来去除底物中多余的液体。8600是为了可靠性而设计的,在其金属零件上涂上了保护涂层,以防止因暴露于密集的清洁过程而造成腐蚀。这有助于确保洗涤器达到最大效率。洗涤器的精确度和精确度令人难以置信,其清洁能力多年来经过精心优化。可用于加工尺寸可达200毫米和0.5毫米厚度的晶圆和掩模,最小特征尺寸为0.02微米。SVG 8600具有众多的数字传感器,允许进行诸如晶圆ID、基板平坦度和曲率半径等一系列测量。洗涤器与一系列用于远程监控和数据记录的软件系统兼容。洗涤器的操作直观,需要最少的用户培训。它具有高级图形用户界面(GUI),具有一系列可定制的预设,以适应不同的流程。洗涤器还具有可选的模块化配置,允许更灵活的工作流。总而言之,8600是一种高效可靠的晶片和掩模洗涤器,旨在满足任何清洁房间环境的需求。它具有快速的洗涤周期,非常适合那些时间关键的应用程序。
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