二手 SVG 8600 #9265337 待售

SVG 8600
製造商
SVG
模型
8600
ID: 9265337
晶圆大小: 6"
优质的: 1994
Coater system, 6" 1994 vintage.
SVG 8600是一种机械、全自动晶片和掩模洗涤器。它旨在在清洁室环境中对各种扁平、非多孔晶片、光掩模和其他基板执行准确、一致和可靠的清洁循环。该设备的主要目的是为清洁各类晶片和掩模提供必要的部件,使其适用于从液晶制造到先进半导体工艺的广泛行业。8600配备了由两个机械洗涤头组成的洗涤臂,使其能够对晶片和直径达200mm的口罩进行可重复的洗涤。此外,这个系统位于一个单一的基础单元上,因为它的大小和重量具有优势。基本单元还支持洗涤器臂,并包含启用操作所需的驱动和控制组件。除了洗涤元件外,SVG 8600还配备了一个可调节的洗涤喷雾器,起到水/溶剂分散单元的作用。可调节的冲洗喷雾器可确保晶片/基板在洗涤后完全不含所有污染物。此外,8600的内部采用不锈钢结构,采用半导体级水过滤和蒸馏,提供最高水平的清洁和污染控制,在洗涤过程中不添加任何额外的颗粒。这台机器还设计用来通过其启用网络的触摸屏控制中心与其他运营商进行接口。触摸屏监视器的设计目的是为其操作员提供一个易于使用的界面,从而能够完全控制机器的子系统和功能。此外,用户可以将多达24个自定义的洗涤程序存储到工具的配方库中。SVG 8600设计为占用最小的空间并在最小的监督下运行。该资产能够达到高达800 rpm的洗涤速度,同时仍能产生质量结果。洗涤压力也可调节,以满足客户的具体要求。8600具有一致的结果、快速的循环时间和信封尺寸,对于希望为其基板提供可靠、准确的清洁循环的企业来说,它是一个极好的选择。
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