二手 SVG 8600 #9265340 待售

SVG 8600是由SVG Automation ACM製造的自动化晶圆和掩模洗涤器。是为半导体生产和基板清洗而设计的先进设备。8600能够处理200 mm的晶片和600mm x 600mm的掩模尺寸。SVG 8600中的Robotic Track由工业级铸铝制成，包括精密的滚珠轴承线性滑轨，用于完美的晶圆和掩模处理。高速机动轨道可实现可重复的精确基板传输。使用8600的AccuJet®喷嘴技术进行洗涤,该技术利用高压喷射去离子化（DI）水来有效去除颗粒。AccuJet系统提供可定制的压力和持续时间设置,以确保最佳清洁性能。SVG 8600采用湿洗技术，以实现更好的自我维护。采用盖子减少蒸发，保证最佳洗涤效率。内置填充传感器从外部水箱收集DI水，通过管道与洗涤器相连。8600可以监控洗涤过程，并能对反馈和数据收集作出实时反应。SVG 8600还包括一个高效微粒空气（HEPA）过滤单元，负责收集和清除擦洗区域的微粒。与其他洗涤器相比，HEPA过滤器直接安装在洗涤器上，往往消耗最低的能量和磨损。此外，8600还设计了磁阀来控制洗涤参数，并配有多个传感器来识别潜在的洗涤器操作问题。SVG 8600还包括用于精确控制和性能监控的车载计算机。它能够存储洗涤参数、晶片和掩模状态等数据，8600是先进半导体生产和基板清洗的理想洗涤器。其机器人轨道、AccuJet喷嘴机、HEPA过滤、传感器和车载计算机确保精确控制和数据收集。SVG 8600能够擦洗200 mm大小的晶片和600mm x 600mm大小的掩模。它具有可自定义的压力和持续时间设置,为获得最高的清洁效率和性能提供了理想的平台。