二手 SVG 8600 #9404481 待售
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SVG 8600晶片和掩模洗涤器是一种自动化抛光设备,设计用于实现半导体行业晶片的高通量清洗。它使用通电和非通电介质的独特组合来擦洗和抛光晶片和面膜。8600具有机械臂,可在清洁周期结束时拆卸晶片和掩模,从而以高效和经济高效的方式实现晶片和掩模的高吞吐量和精密清洁。集成洗涤器的设计使用户能够快速准确地启动清洁周期,并为各种基材类型提供理想的清洁解决方桉。SVG 8600旨在激活多种洗涤和抛光介质,让用户定制自己的清洁要求。该系统还提供了一个用户友好的界面,能够方便的设置和最佳的清洁性能。控制器连接到机械臂,使用户能够在几种洗涤和抛光介质以及清洁循环选项之间进行选择。智能编程单元(IPS)进一步允许根据基板类型自动调整擦洗和抛光介质。机械臂用于将晶片和掩模移动到洗涤器中,并将其运输以实现快速高效的清洁。洗涤器被设置为保持一定的洗涤和抛光参数,以确保最佳的清洁基板和保持高质量的结果。该机器能够擦洗和抛光各种基板,包括光掩模,晶圆,和其他SEM CMP目标。晶片和口罩夹在一个支架和洗涤器启动了一系列的高度精确scibliy图案的笔触在基材。然后,机械臂将基板和面罩从洗涤器中移出,使用户可以不断地将其移出,并在必要时重复洗涤过程。8600经过全面测试和认证,符合ISO 14001和9001标准。它的组件还具有高度的可靠性,以最大限度地提高吞吐量并最小化停机时间。这种完整的清洁解决方桉使其成为半导体和无晶圆厂制造行业的理想选择,这些行业需要经济高效、高质量的晶圆和面膜洗涤及抛光解决方桉。
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