二手 SVG 8600 #9411945 待售

SVG 8600是半导体工艺设备领先制造商Semi-Tek的晶圆和掩模洗涤器。这种洗涤器旨在为半导体晶片和掩模上的表面污染物（如光致抗蚀剂）提供更好的清洁。它的清洗过程是完全自动化的，并使用氧自由基来保证彻底清洁的基板。8600是一种用途广泛、可靠的清洁设备。利用氧气真空去除过程产生的残留物，而不改变基材和掩模的性能。系统可以处理直径不超过8英寸的晶片和尺寸不超过10英寸的掩模。而且，它还配有一个集成洗涤器单元，用于清除表面的颗粒和污染物。SVG 8600采用两阶段清洗循环。第一阶段使用氧气从表面除去有机化合物。这种蒸气在密封的反应室中产生，并通过晶圆或面膜输送。蒸气然后与表面的有机化合物反应，将自身附着在上面，分解成氧自由基。在清洁循环的第二阶段，氧自由基附着在颗粒和污染物表面，使它们氧化。氧化后，气体和微粒被真空从表面抽出。这一工艺重复了几次，其设计目的是提供比典型的湿洗工艺更清洁的基材和口罩。机器由基于PC的软件套件控制和监控。此套件包括对故障诊断的支持,以及指导工具操作员完成故障排除过程的常见故障和解决方桉库。它还提供资产参数的实时报告，并且可以与流程管理软件相连接。模型也是完全可定制的。洗涤器头可以在x和y两个方向上移动，以便清洁不同形状和尺寸的基板。此外,还可以调整步速和停留时间,以便用户根据特定要求定制清洁参数。设备还配有电离器，在清洗前消除基板或面罩的静电。总而言之,8600是一种自动晶片和掩模洗涤器,旨在实现卓越的清洁和表面净化.它用途广泛,提供完全可定制的清洁周期和诊断软件套件,用于故障排除。它可靠、有效，确保每次都有干净的底物和面膜。