二手 SVG 8620 / 8636 #293625501 待售

ID: 293625501
晶圆大小: 6"
Dual track wafer scrubber, 6".
SVG 8620和8636是SVG公司生产的先进晶圆和掩模洗涤器系统。这些洗涤器系统提供精密、无化学物质的洗涤器优化,以便能够清洁、安全地处理精致、复杂的材料。SVG 8620和8636洗涤器系统利用两个晶片洗涤器头和一对独立驱动的掩模洗涤器头,从而对晶片和掩模进行了详细的控制和磨砂优化。首先,SVG 8620和8636晶片和掩模洗涤器系统最重要的特点是能够提供精确、无化学物质的洗涤器。这些洗涤器采用集成的无化学刷子,可以擦洗各种细腻的材料,包括氧化物、氮化物和PECVD材料。此外,这些刷子采用先进的技术,允许精细和集中擦洗到28nm间距。这些特性使得洗涤器系统非常适合洗涤晶圆和掩模材料的复杂细节。SVG 8620和8636晶圆和掩模洗涤器系统的另一个重要特点是它们的两个晶圆磨砂头和两个掩模磨砂头。这些磨砂头可以调整以减少清洁周期时间,也可以独立驱动和编程,从而允许更大程度的定制。此外,这些磨砂头可以用特殊的序列和食谱进行编程,使它们能够根据特定的擦洗需求量身定制。最后,SVG 8620和8636晶片和面膜洗涤器系统还具有自动洗涤、清洁和干燥循环的特点。这样,洗涤器就可以用最少的手动输入来清洁、干燥和冲洗材料,从而节省时间并提高吞吐量。此外,洗涤器系统具有旋转载荷向下臂,允许更均匀和完整的清洁。最后,SVG 8620和SVG 8636晶片和掩模洗涤器系统是为精密无化学洗涤器而设计的先进系统。这些洗涤器系统的特点是集成了28nm音高的无化学刷子,以及两个晶圆磨砂头和两个面罩磨砂头。此外,洗涤器系统还具有自动洗涤、清洁和干燥循环的功能,同时还有一个旋转载荷下降臂,以实现更均匀和完整的清洁。
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