二手 SVG 8620 SSC / 8636 HPO #9366489 待售

SVG 8620 SSC / 8636 HPO
ID: 9366489
Wafer scrubber With res meter.
SVG 8620 SSC/8636 HPO晶片和掩模洗涤器是一种精密清洁设备,旨在恢复晶片上的薄膜性能并解决晶片上的物理缺陷。该系统适用于清除任何表面的碎片和污染物,包括光掩模、晶片、抗蚀剂、支架或抛光垫。8620 SSC/8636 HPO单元具有直线和旋转级运动、调节气压以及多种喷嘴配置。这允许对所有类型的曲面进行可重复和可控的擦洗。它坚固和可调的性质允许一个定制的清洁体验以及快速循环时间。为了达到最佳效果,该机配备了双磨砂带。这允许额外的擦洗参数,例如不同的擦洗压力值或双擦洗速率。这种布置进一步使工具能够一次处理所有类型的表面。此外,双磨砂区允许用户根据不同的标线设计优化工艺配方。擦洗过程由氮气驱动,导致对目标区域的渗透率明显高于空气驱动系统。它对气体压力、工艺压力和喷嘴设计的严格控制,使得广泛的洗涤过程成为可能。例如,这包括处理细线打印的功能。SVG 8620 SSC/8636 HPO晶片和掩模洗涤器是一种经济的解决方桉,具有各种优点。其先进的功能提供了卓越的清洁性能、更好的循环时间和较低的洗涤寿命成本。此外,资产可以处理高度错综复杂和易碎的零件,如抗蚀剂的平面化和结构化,从而改善基板的表面度量。这反过来又增加了产品的总产量。由于其灵活的设计,8620 SSC/8636 HPO可以承受设计、标线形状、尺寸和基板要求方面的变化,而无需进行额外的调整。这使得该模型适合在半导体工业或研究实验室等多样化的工业和研究环境中应用。总体而言,SVG 8620 SSC/8636 HPO晶片和掩模洗涤器是一种经济高效且可靠的解决方桉,可有效清洁和洗涤网纹和各种基板。其先进的功能允许以较高的吞吐量和较低的成本进行可重复和优化的清洁。
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