二手 SVG 8620 #293609704 待售

SVG 8620是一种精密晶片/掩模洗涤器，用于在生产和研发应用中清洗半导体晶片和基板。8620是一种单头洗涤器，能够处理150毫米至200毫米之间的表面。洗涤器由集成离心力进给系统提供动力，提供从0到25运动/分钟的一致洗涤速度。可选的索引旋转臂也可用于擦洗300毫米以下的基板。洗涤器采用空间清洁技术，确保在运行过程中从晶片边缘有效清除污垢和颗粒。这是通过使用横向路径来实现的，在该路径中，洗涤头穿过多环波状模式旋转。这种波状模式遵循基板的纵轴，随后将洗涤涂抹器对准基板的边缘，以便有效地去除任何已经沉积在那里的杂质。洗涤器设计用于蒸馏水和低pH异丙醇清洁液。通过使用基于洗涤剂、含表面活性剂的清洁溶液，洗涤器能够为晶片和掩模基板提供全面的清洁，去除有机和无机杂质，否则这些杂质可能会被个性化清洁过程遗漏。该机器还包括一个集成的CCD摄像机，它允许目视监测和检查洗涤过程，确保清洁是一致和有效的。洗涤器还可以自动化，与CMOS和MEMS金属沉积和去除工艺协同工作，从而使项目比传统方法更快速、更高效地完成。这种自动化是通过使用机械臂实现的，该机械臂允许洗涤头在使用时始终处于正确的位置，以及每次使用后重新定位洗涤头。该机还配备了先进的计算机系统，允许监控清洁时间、清洁溶液使用情况等变量，以确保最佳性能和一致性。总体而言，SVG 8620是一种高效的洗涤器，能够清洁150毫米至300毫米之间的基板，消除有机和无机杂质，为晶圆和掩模基板提供卓越的清洁。机器还包括先进的自动化、检查和监控系统，确保无论基材大小或类型如何，都能保持一致和有效的清洗。