二手 TEKNEK CM6 #194148 待售

TEKNEK CM6是一种晶圆和掩模洗涤器，采用专有的脉冲泡泡洗涤技术，取得优异的工艺效果。这种先进的设备被设计成完全自动化的，并且为各种各样的基板提供了一个可重复的、可靠的清洗过程。CM6的特点包括清洁周期短、每小时70多个晶圆的高吞吐量以及最低限度的运行费用。TEKNEK CM6的气泡洗涤技术使用了一系列受控脉冲来产生和释放聚焦量的超声波能量到流体清洁溶液中。这种能量产生细小、精确的气泡，从敏感表面分离并去除颗粒、分子和其他污染物。对于每个清洗周期，晶片和口罩都浸入预定的清洗溶液中，然后暴露在超声波气泡中。由此产生的过程在基板上是平缓的，始终产生无缺陷的表面。这种气泡清洗技术可应用于各种基材，包括Si、GaAs和Quartz。CM6是一个完全自动化的系统，这使得它非常适合大批量运营和生产线。新清洁会话所需的设置（其中包括为给定基板选择适当的参数）最小,清洁周期只需15秒即可执行。内置的用户友好型液晶屏控制面板可轻松浏览设置和执行过程。该设备还可以连接到计算机进行远程监控。TEKNEK CM6除了高效、轻松的工艺外,还考虑到操作员的安全。它具有针对异常过程条件的综合报警机，可设置为在过程泄漏或危险情况下自动关闭流体。该工具还具有闭环水回路，有助于降低化学品暴露的风险。总体而言，CM6是一种精密的晶片和掩模洗涤器，它以最低的操作成本提供优异的工艺效果。其先进的气泡洗涤技术非常适合从敏感表面去除颗粒和分子，其自动化设计使其非常适合各种大容量应用。TEKNEK CM6具有最佳设计的工艺和安全特性,是许多具有挑战性的项目的绝佳选择。