二手 TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta+ #293592925 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta+是一种自动化设备工具，用于在半导体制造过程中擦洗和开发光掩模和晶圆。该设备的设计是为了减少人工洗涤和清洁面罩和晶片在一个单一的设置的应变和时间。该装置集成了先进的、专业的自动化洗涤器，利用垂直单头、高压技术和洗涤运动，有效地清洁和清除电阻镀晶片中的抗蚀剂残留物。它具有较高的清洗速度和容量（每头最多5个晶片），以优化不同应用的过程灵活性，并配有预先安装的通信软件，用于用户控制和协调。自动校准系统还可以在精细结构上工作时提供更高的精度。TEL Cellesta+还包括一个高度先进的清洁罐，配备了强大的流量控制单元，不仅能快速清洁和干燥光掩模，还能防止在洗涤过程中颗粒从面膜中漂移。先进的机器技术还保持清洁区域的表面温度，以便在处理敏感结构时保持最高质量标准。TOKYO ELECTRON Cellesta+设计并配备了先进的抗蚀膜测量工具，能够在干湿层上以最大的±50m精度测量抗蚀膜厚度。这使用户能够监控蚀刻过程，以确保其正确进行，并且不会残留残留物。此外，该资产还设计用于支持广泛的化学基材材料，如光致抗蚀剂、金属、塑料和无机材料。它还与高粘度和低粘度化学溶液高度兼容，以满足各种清洁需要。此外,Cellesta+还配备了符合人体工程学的设计,通过为用户提供系列中任何型号的最佳视图和位置来确保最高的舒适度。所有这些特性，加上其先进的自动化洗涤器使得TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta+成为处理光掩模和晶片的极其强大和可靠的工具。