二手 TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta+ #293637143 待售
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ID: 293637143
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
Single wafer processor, 12"
(4) Loadports
(20) Chambers
2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta+是为制造高纯度半导体和集成电路而设计的设备。该系统能够清洗、擦洗和清洗过程中使用的晶片和口罩。它旨在提供一个完全自动化和高效的过程,能够处理多种尺寸的晶圆,具有可编程的消毒和洗涤时间,以最大的效率。TEL Cellesta+由ProCleaner单元、ProScrubber单元和碎片收集托盘组成。ProCleaner利用双罐装置提供精确的压力和温度控制水;这有助于实现高质量的晶圆和面罩清洁。ProScrubber配备了晶片/面膜洗涤鳍,还能够利用酸、碱性和中性洗涤液进行精确清洗。ProScrubber还能够对洗涤解决方桉执行温度和压力控制,以减少洗涤时间。碎片收集盘收集洗涤过程产生的任何剩余颗粒。TOKYO ELECTRON Cellesta+设计为用户友好且易于使用。它安装有触摸面板显示屏,操作员可以快速轻松地选择所需的设置。显示屏还允许用户监控机器的状态,如洗涤过程的进度和罐中剩余溶液的等级。该工具还配备了多种安全功能,如温度传感器、压力阀等安全功能。这些安全特性有助于减少漏水和污染的可能性。总体而言,Cellesta+是一项高级资产,旨在为半导体和IC制造中使用的晶圆和掩模的清洁和擦洗提供高度自动化和高效的过程。通过精确的压力和控温水、温控压洗涤溶液以及各种安全功能,该模型能够在短时间内实现优质清洁的效果。
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