二手 TEL / TOKYO ELECTRON Cellesta #67641 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta是一种晶圆和掩模洗涤器，专注于对半导体工业中使用的光掩模和晶圆进行精确可靠的清洗。它在清洗晶片方面具有卓越的速度和效率。TEL Cellesta有四种有效清洁广泛光掩模的型号，包括石英、光学平面、石英和玻璃。TOKYO ELECTRON Cellesta使用湿蚀刻，一种用氟化氢等溶液清洁面膜和晶圆表面的工艺。湿蚀刻过程有助于去除可能导致光掩模缺陷的颗粒和污染物。它确保晶片和口罩上的打印完美无瑕,同时保持最终产品的质量。Cellesta使用三个阶段的过程来确保正确的清洁。第一步，化学洗涤器准备晶片表面接受蚀刻溶液。这有助于从表面释放所有污染物，然后为第二步，温和的湿蚀做好准备。第二步，用精确均匀的喷嘴，将蚀刻溶液喷洒到晶片表面。这有助于溶解晶片中的颗粒、污染物和有机残留物，而不会损害其化学成分或敏感的光学特性。第三步，TEL/TOKYO ELECTRON Cellesta通过使用高能束蒸发蚀刻溶液来实现干燥过程。TEL Cellesta还有一个额外的脱氧模块，利用紫外线辐射减少掩模和晶圆表面上的残留污染物。这有助于创建更好的蚀刻解决方桉并减少清洁时间。此外，高科技控制系统有助于尽量减少污染，跟踪蚀刻溶液的化学用途，尽量减少浪费和成本。总体而言，TOKYO ELECTRON Cellesta是一种高效的晶片和掩模洗涤器，有助于以最精确的方式清洁光掩模和晶片。它有助于维持最终产品的化学成分和光学特性。