二手 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #293817570 待售

TEL / TOKYO ELECTRON NS 300
ID: 293817570
Scrubber.
TEL/TOKYO ELECTRON NS 300是用于制造半导体器件的高度精密的蚀刻器/asher。具有在晶片上快速蚀刻各种薄膜的能力,具有较高的蚀刻精度和较低的污染水平。它配备了先进的气体输送设备,能够产生受控的、精确的各种气体流动。这允许创建统一和一致的蚀刻配置文件。TEL NS 300配备了先进的CVD沉积系统,可以沉积各种材料,如SiO2、PVD、低k电介质。该装置效率高,保证了膜的均匀沉积,沉积速率高。因此,TOKYO ELECTRON NS300提供了比其他蚀刻器/灰烬更高的器件产量。TEL NS300还配备了几种高级蚀刻模式,如CMP/CF-TEOS、O2、H2O蚀刻模式。此外,其最先进的真空机器即使在高真空水平下也能确保最佳蚀刻速率。此外,TEL/TOKYO ELECTRON NS300能够产生高分辨率的复杂3维图样。其独特的制图技术有助于制造具有非凡分辨率的高度复杂的晶圆器件。NS 300还配备了先进的温度和环境控制功能。这样就可以在恶劣的环境中使用该工具。此外,其安全特性使其成为最安全的蚀刻系统之一。NS300是专为高性能和介电蚀刻,CVD沉积,复杂的图案设计。其先进的特点提供了高蚀刻精度、均匀控制的气体输送资产和高产装置制造。这使得它成为高技术应用如半导体器件制造的理想选择。
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