二手 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #9228401 待售

TEL/TOKYO ELECTRON NS 300是晶圆和掩模洗涤器，设计用于半导体工艺操作。它实现了高效、低颗粒的加工。TEL NS 300提供自动晶片洗涤操作,这对于手动方法效率低下的大型流程运行至关重要。这包括在装入加工室前擦洗基板边缘，清洗用过的支架，加工后完成清洗操作。洗涤器配有一个支撑晶片和工艺支架的主平台，以及一组"臂"，用来牢固地握住晶片或掩模并旋转以进行洗涤。它能够水平或垂直旋转,速度高达7000 RPM。洗涤器还有一个专用的水箱设备，用于蚀刻解决方桉，具有自动填充和排水系统。洗涤器配有两个洗涤器，能够处理液体和粉末清洁剂。它们在高转速旋转时分配在基板和工艺支架上。洗涤器具有一组有效的特性，以尽量减少颗粒污染，例如一个集成真空单元，将颗粒捕获并沉积到转移容器中。该洗涤器设有一个粒子计数器，可监控大于0.5 μ m的粒子，以及一个先进的遥控器，可以从授权的远程位置控制洗涤器。NS 600符合SEMI S2标准最大限度地减少粒子污染，是同类中效率最高的。这款行业领先的产品引领着清洁高效半导体工艺运营的发展。