二手 TEL / TOKYO ELECTRON NS 300 #9361632 待售

ID: 9361632
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
Scrubber, 12" 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON NS 300是一款先进的晶圆和掩模洗涤器,设计用于半导体工业。该装置能够通过其洗涤作用产生较低的颗粒计数,从而提高了IC产量和可靠性。它有一个自动化的三轴运动控制系统,以提高精度,以及一个双侧磨砂臂和顶侧磨砂喷射技术。TEL NS 300还配备了包括初始磨砂、抛光和洗涤周期在内的三个不同的洗涤阶段。该机设计用于清洁各种材料,包括GaAs、Si、聚酰亚胺、环氧树脂和粘合剂。它使用三轴运动控制系统在晶圆表面精确移动磨砂臂。双面磨砂臂和顶面磨砂喷射技术旨在有效去除晶片表面的颗粒和污染物,同时避免损坏晶片。三级洗涤循环首先从晶圆表面去除颗粒和有机污染物,然后进行抛光,最后进行洗涤循环,以进一步减少颗粒。TOKYO ELECTRON NS300设计具有多种安全功能,包括吸尘器、防反向散射滤波器和滤波时间传感器。真空吸尘器防止污染空气或灰尘进入洗涤器,而防反向散射过滤器则保护设备免受微观颗粒和紫外线辐射的伤害。滤掉时间传感器在一定时间后自动停止机器运行,以尽量减少进一步的污染。机器紧凑高效,能效比高达20。它还配备了广泛的控制能力,让用户可以即时进行调整。可调擦洗速度,以及可调擦洗垫压力,增加或减少擦洗循环的作用力,使使用者能量身定制其擦洗过程,以适应晶圆的特定要求。除了先进的洗涤能力外,TEL/TOKYO ELECTRON NS300还易于使用和维护,自动清洁和维护组件作为标准配置。它直观的用户界面和图形显示随时为用户提供清晰简洁的指导。这样可以确保用户能够保持较高的流程控制级别,从而使他们能够快速轻松地排除问题。总体而言,NS 300是一款高度先进且可靠的晶圆和掩模洗涤器,旨在在各种应用中提供卓越的性能。其优越的清洁能力加上其提供的高水平控制,使用户能够快速准确地清洗晶片,帮助他们以最高效、最具成本效益的方式生产高质量的产品。
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