二手 TEL / TOKYO ELECTRON SS-4 #293658182 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SS-4是一种精密的自动化晶圆和掩模洗涤器，用于半导体加工。它旨在最大限度地减少颗粒污染,利用先进的洗涤器技术,以最高的效率和最小的磨损,从晶圆表面轻柔高效地去除坚固的颗粒,以及擦洗和清洁面罩组件。该单元是各种材料自动洗涤的理想解决方桉，如晶圆步进器、光掩模、等离子体蚀刻系统、自旋清洁器和其他组件。该设备设计紧凑，由坚固耐用的不锈钢构成，可确保长期使用的耐用性和可靠性。它还包含了一个最先进的软件平台，可以方便操作和灵活编程。TEL SS-4带有直观的用户界面,包括用于正确导航和查看参数的大型触摸屏显示屏,同时提供有关擦洗周期的音像通知,以便于监控。利用集成的污染监测传感器，设备安全、准确地检测到颗粒污染并在达到必要的洗涤阈值时向用户发出警报。先进的洗涤器采用高效的刷洗动作，为各种晶圆和面膜提供卓越的清洁能力。它还具有可调的磨砂方向、可调的磨砂压力和可变的磨砂速度，可以进行优化以获得最佳的磨砂效果。该单元包括多种类型的刷子，可以根据需要进行更换，如常规刷子、金刚石刷子和泡沫刷，以提高洗涤效率。TOKYO ELECTRON SS-4配备了一个集成的真空过滤器组件，可以捕获粒子，有助于减少空气中粒子的影响，并改善工艺质量和洁净室环境。该系统还包括一个防止颗粒堆积的浆液过滤器、一个工艺水过滤装置和一个有助于减少废水排放的冲洗水机。此外,SS-4符合当前的CE和FCC安全法规,并且与现有的洗涤器和盒式磁带系统兼容。它是一种高效高效的自动化洗涤器,提供卓越的性能和卓越的可靠性,使其成为任何半导体加工设施的宝贵工具。