二手 TEL / TOKYO ELECTRON SS-4 #293830624 待售

TEL/TOKYO ELECTRON SS-4是一种成本效益高的晶片和掩模洗涤器，利用自动化技术为微电子制造高效制备晶片和掩模。这种设备提供了一种在制造过程中使用晶片和掩模之前从杂质中清除晶片和掩模的有效方法。进气部分配有装载台，放置要清洗的晶圆或掩模。然后，TEL SS-4使用专门的刷牙机构将碎片从晶圆表面或掩模提升到其集成洗涤篮中。这种洗涤系统旨在去除表面颗粒、被困在毛孔中的颗粒以及晶圆或掩模表面可能存在的其他碎片。为了确保最有效的清洗，TOKYO ELECTRON SS-4的洗涤单元采用了加压空气喷射和化学溶剂的组合。空气射流的压力有助于将粒子从重新进入的特征中移出，而溶剂则用于帮助分解任何残留的碎片。这两种方法的结合有助于松开可能牢固固定在表面的颗粒。一旦晶片或面罩被充分擦洗，它就被分配到SS-4的输送带上。TEL/TOKYO ELECTRON SS-4机设计符合洁净室标准，使其成为在百万分之10以下粒子的环境下处理晶圆和掩模的理想选择。晶圆和蒙版洗涤的过程是一个精细的过程，需要精确的注意细节。TEL SS-4是为此目的而设计的；建造过程中采用的先进技术可确保有效地从表面清除颗粒，并将进一步污染的风险降至最低。再者，TOKYO ELECTRON SS-4的自动化设计意味着它能够在短时间内处理多个晶片或掩模，使其成为工业清洁的高效、经济的选择。