二手 TENNANT T5 #9311698 待售

TENNANT T5是一种晶圆和掩模洗涤器，设计用于半导体制造。它是一种可靠、经济高效的洗涤设备,旨在最大限度地提高生产效率并降低晶圆和掩模清洁的成本。T5由一个电动晶片摇篮和一组执行器组成，包括一个横臂底座、导辊和臂举杆。自动转台驱动器设计成横向移动晶片，并使晶片通过一个完整的360度旋转。磨砂头设计用来用磨料擦洗抗蚀剂和基材，完全清洁晶片而不会损坏基材。TENNANT T5通过用户友好界面操作。用户可以选择任意数量的参数,例如压力、速度和计时器设置,以实现所需的清洁性能。用户还可以根据预定的晶圆大小或其他条件选择让机器自动停止和启动。该机设计用于多层遮罩材料、手柄遮罩和晶圆尺寸可达450毫米,可重复性达到0.1微米精度。这样可确保提高整个批次的流程一致性和统一性。T5采用湿洗涤工艺，可有效去除湿颗粒和基板，而无需烘干机或重定向。这大大缩短了过程时间,同时提高了最终产品的质量和吞吐量。TENNANT T5融合了低压制导、低压预警、紧急联锁等内置安全功能。这样可以防止晶片和/或掩模材料受到人身伤害或损坏。T5配备了数据收集系统，能够对流程进行监控。该单元记录操作变量,例如擦洗速度和压力,以及晶圆/掩码统计信息,使流程记录能够进行跟踪。TENNANT T5是一款用途极为广泛的洗涤机，旨在减少污染，提高产量，最大限度地提高工艺文档。该工具可确保晶片和蒙版清洁。它的效率和成本效益产生了对许多企业有利的整体经济优势。