二手 ULTRA-T EQUIPMENT / UTE SCS i124 #9179533 待售
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ID: 9179533
Substrate cleaning system
Cleaning options:
Pressure / Megasonic nozzles
Chemical dispenses
Heated DI water
Substrates: Upto 12” to 20” diameter.
ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCS i124是一款半自动晶圆和掩模洗涤器,设计用于满足半导体制造中的高容量要求。该机器能够擦洗多种晶圆和掩模组合,吞吐量高达每分钟12个晶圆。UTE SCS i124提供对洗涤过程的精确控制,以确保高质量的结果,从而实现一致的设备性能。ULTRA-T EQUIPMENT SCSI124有一个集成晶圆传输设备和一个专用传输臂。它提供了一个平滑可靠的过程,将晶片和面膜移动到洗涤器和清洁室内。洗涤器装有一个干燥站,以便彻底清洗。清洗过程可以调整以达到广泛的结果,包括积极清洗有机颗粒、清洗氧化物层、氧化物蚀刻或翻新。SCSI124配备了三轴洗涤器模块和自动清洗过程,允许从洗涤器快速过渡到干燥或额外的洗涤器循环。洗涤模块具有可调的清洁压力和清洁速度,可精确控制清洁参数。ULTRA-T EQUIPMENT SCS i124由于洗涤器的可变清洗参数,无论晶圆表面如何,都能产生高质量的结果。UTE SCSI124还配备了先进的视觉系统,用于在洗涤前后监测晶圆和掩模的状况。视力装置的设计目的是探测和识别小至0.2um-7um范围内的污染物。视觉机提供对洗涤结果的实时反馈,允许处理人员在必要时即时进行调整。ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCSI124在其设计中内置了多项安全功能。它采用主动监控的损伤/氧化检测工具设计,能够自动审计晶圆和掩模表面。机器提供的可选附件,如氮气和湿度控制单元、旋转树皮、基于颜色的视觉系统和料斗捆绑机,可实现更高效和更高产量的处理。SCS i124提供可靠、优质、高效的洗涤器。它易于维护,通过持续产生优异的效果,大大缩短了清洁周期的时间和成本。ULTRA-T EQUIPMENT/UTE SCS i124是任何寻求通过精确晶圆和掩模清洁来最大化生产力的半导体生产环境的理想选择。
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