二手 ULTRATECH 603 #88598 待售

ID: 88598
晶圆大小: 5"
High pressure spin cleaner, 5".
ULTRATECH 603是一种晶圆和掩模洗涤器,设计用于精确清洗集成电路(IC)晶圆和晶圆步进器。这种先进的清洁设备由专门生产半导体清理产品的石化工程公司ULTRATECH制造。洗涤器使用液体和空气清洁技术来清洁光刻中使用的受污染表面。它的工作原理是将清洁剂和液体的溶液通过晶圆或面膜泵送。然后用旋转喷雾棒擦洗表面,方便污染的溶解。603的占地面积很小,可轻松集成到现有的湿板凳或垂直处理系统中。单个喷嘴设计可确保在与可选的垂直搅拌系统配合使用时提供均匀的清洁和冲洗。此单元包括旋转和振荡运动,允许对所有暴露的表面进行彻底的清洁。ULTRATECH 603的创新设计包括一个不锈钢洗涤器外壳,一个耐腐蚀的外壳,以及一个能提供高达每分钟150升的强大泵器。该泵由精确计时器控制,以确保对每个基板施加适当的压力。洗涤器还包括一个三点可调节的清洁站,可以让你有效地为每个基板定制洗涤器参数。此外,603还提供安全方便的高级功能。将安全警报集成到设备中,以便立即将任何不安全的操作条件通知用户。该单元还提供了一个自动快门机,当马达运行时关闭,防止液体进入马达腔室。可调排气工具允许颗粒和其他碎片被整齐地收集在一个指定的隔间。ULTRATECH 603是清洗集成电路制造中使用的先进材料的绝佳选择。它具有强大的泵和多种可调特性,能够在广泛的表面提供高效、均匀的清洁。此外,ULTRATEHC 603还具有安全和方便的功能,是任何需要高效可靠的晶圆和掩模洗涤器的人的理想选择。
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