二手 ULTRATECH PC 602 #186831 待售

ULTRATECH PC 602
ID: 186831
Plate cleaner with chuck, ~ 1985 - 1990 Vintage..
ULTRATECH PC 602晶片和掩模洗涤器是一种用于半导体和微电子应用的用于清洁和洗涤基板(如光掩模和晶片)的自动化设备。它利用高度可靠的输送机系统在整个过程中运输基板,并提供最高水平的清洁精度、可重复性和准确性。PC 602 Wafer和Mask Scrubber采用模块化概念设计,使工具集成、过程设置和数据管理变得容易。其用户友好的界面为操作员控制、操作和监控过程提供了一种简单易用的方法。洗涤器的智能工艺逻辑技术使底物参数、时间表和历史记录在整个清洗过程中得到强大的数据管理和追溯。ULTRATECH PC 602 Wafer和Mask Scrubber采用双腔室设计,允许洗涤器连续循环在同一条线路上加工晶片,从而显着提高了吞吐量和生产率。双过程腔室的灵活性允许在同一过程中擦洗不同的基板,而无需手动切换。该设备还配备了一个全自动的工具"机械化"机器,以便于不同基板之间的转换。该工具的华夫饼盒式磁带提供了快速、方便的加载体验,不需要夹紧或模具转换。洗涤器还配备了视觉上载荷辅助和精确的载荷定位能力,用于精确的基板放置。PC 602晶圆和蒙版洗涤器配备了精密、高分辨率的气动暴跌工具。柱塞在整个洗涤过程中提供均匀的压力和精确的线性,并确保完美的工艺效果。洗涤器的设计支持各种晶圆尺寸、掩模尺寸和基材类型,提供无与伦比的灵活性和可扩展性。此外,ULTRATECH PC 602晶圆和蒙版洗涤器还具有多种安全功能,例如在电源断开时自动关闭,以及在电源过热或断开时自动关闭。这些安全特性保证了资产符合行业安全标准,并将经受多年的可靠运行。PC 602 Wafer和Mask Scrubber是一种先进、可靠的洗涤面膜和晶片基板解决方桉。其出色的灵活性、直观的用户界面以及对安全的关注确保了其可靠性和高性能。
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