二手 YES 12-2P-CP #9272598 待售

YES 12-2P-CP
ID: 9272598
Polymide bake system With blower.
YES 12-2P-CP是一种自动化晶片和掩模洗涤器,用于经济地提高晶片和掩模表面的清洁度。12-2P-CP将湿式化学清洗和自动洗涤结合起来,在一个操作周期内有效地清洁晶圆和掩模表面。YES 12-2P-CP包括一个安装在滑动龙门上的机械臂、一个清洁罐、一个面罩和一个晶圆洗涤站、一个喷水洗涤站、一个洗涤后洗涤站、一个风干站和一个化学回收系统。所有组件通过人机界面(HMI)和易于使用的触摸屏紧密控制。12-2P-CP的机械臂是为适应各种基板的个别规格而设计的,这些基板包括缺口、颠簸和垫状晶片。它的灵活性和精确度使其能够精确到达晶片的不同部位,从而获得更好的结果。机械臂还装有视觉系统,可以测量晶圆大小,检测晶圆表面的任何异物颗粒。YES 12-2P-CP的清洗罐装有几个高压喷射器,用来搅动清洁溶液。清洁溶液中含有最合适的表面活性剂,这取决于晶圆和面膜的材料。清洗过程是自动化和监控的,以便可以随时调整表面活性剂的浓度。面罩和晶片擦洗站使用高速、多臂机械臂在晶片的整个表面应用均匀的擦洗图桉。这个过程除去颗粒和其他污染物,确保晶圆和掩模表面没有涂片。喷水洗涤站使用高压喷射的无油水,清除图样面膜上的碎屑。洗涤后冲洗站有助于去除晶圆和面膜表面残留的表面活性剂。空气干燥站采用加压空气和加热干燥机的组合,除去残留的清洁溶液,蒸发晶圆上的任何水分。12-2P-CP能够运行各种操作周期,如洗涤前浸泡、洗涤后漂洗干燥和化学回收。YES 12-2P-CP中的化学回收系统确保清洁溶液被回收和再利用,使其成本和生态友好。总体而言,12-2P-CP是一种高效、经济的晶圆和面膜清洗工具。它被用于各种集成电路和微电子元件的制造,确保晶圆和掩模都是干净的,没有污染物。
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