二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #293807072 待售
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ULTRATECH Saturn Spectrum 300是一种最先进的晶圆步进器,旨在为直接写入光刻应用提供精确的阶梯式曝光。它提供了高性能和极低的每次曝光成本的独特融合。步进器基于ULTRATECH专有的土星300平台技术，提供2 µm的先进分辨率。它包含具有自动对准能力的共振线圈模式扫描阶段、先进的STEM成像设备、集成系统控制以及强大的真空泵单元。步进器还具有一个高度灵敏的光学CCD相机连接到四轴旋转显微镜0.0025微米分辨率。这种成像相机可以帮助用户准确捕捉每一个细节，尽管图样非常小。Saturn Spectrum 300采用集成光学机器,可确保低像差产生和高保真成像。光学工具可处理多种测量范围，动态范围高，测量时间快。步进器还具有高质量、可靠的飞行头资产，可用于低粒度的高通量暴露。此飞行头有助于在曝光步骤中准确曝光和监控模式运动和失真。它还有助于提供具有亚微米特征尺寸的均匀扁平标线,并有助于高速执行光刻和检查任务。ULTRATECH Saturn Spectrum 300还提供方便的用户访问其所有组件。用户界面布局良好，易于使用。步进器包含若干安全特性，如温度监测和摄像头屏蔽罩，以保护敏感部件免受环境危害。最后，土星光谱300能够在最高密度分辨率水平上提供卓越的图像质量。其先进的功能和先进的真空泵模型使其成为所有直接写入光刻应用的理想工具。
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