二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9163594 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 300晶圆步进器是一种用途广泛、成本效益高的生产光掩模的工具。该设备具有高精度、低成本的晶圆对准和制图能力。它可以为当今半导体器件的小特性提供精密、精确度高的光刻。Spectrum 300具有6 "x 6"的曝光视场，加速视场高达6.8 "x 6.8"。步进器具有4.3英寸的标线与晶片间隙,可在单个基板上的多个设备上实现高保真成像。步进器还具有使用不同曝光能量以及使用相移和无色成像过程成像的能力。该系统配备了增量高度调节功能，允许从晶片到晶片的阵列校正，而无需物理移动晶片级。该单元还采用了无电场成像技术，消除了传统掩模成像过程中可能发生的图像失真。在图像保真度方面，Spectrum 300以8英寸激光光路和线性驱动机提供出色的分辨率。步进器还具有三场扫描能力和高吞吐量,可提高工作效率。该工具可实现高达3200 um/秒的总扫描速率。该资产可以配置为总共有16次曝光，这允许图像覆盖和扩展光刻跨越多个模具。Spectrum 300能够成像二进制光栅和Leff光栅以及重复模式。该型号具有0.25 μ m的特征尺寸分辨率,采用启用talbot的镜头,适合先进和苛刻的光刻应用。设备总行程范围为25mm, x和y,精度为+/-2 μ m。在安全性方面，Spectrum 300有几个特性和选项，例如；眼部安全快门,双链操作和作业中止.步进器具有最先进的CE兼容控制系统和用户友好的图形界面,便于操作。Saturn Spectrum 300 wafer stepper是生产光掩模的一种成本效益高且可靠的工具。该设备配备了多种功能,可实现精确精确的成像、高生产力和图像保真度,以及使机器适合各种光刻应用的安全功能。