二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9312357 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 300是一种先进的晶圆步进器，在制备用于半导体制造的光掩模方面提供了卓越的灵活性。它与自动晶片封装设备配合工作，提供均匀的基板曝光和输送。Saturn Spectrum 300提供了多种对基板加工很重要的特性，包括200 mm晶片级、6 M像素照相机和一台50,000 rpm的电机来驱动晶片。它能够以标准和非标准格式进行曝光扫描,并具有自动模式旋转、激光模式检查、模式配准和模式相关基板曝光等特殊功能。它还有一个直观的图形用户界面，允许用户轻松编程和监控他们的照片掩码操作。这种先进的晶圆步进器设计用于处理各种基材，包括玻璃、石英和聚酰亚胺。系统的高灵敏度意味着它能够以最小的失真在基板上精确精确地放置图样。它还能够在扫描过程中以非常低的失真缝合图样。ULTRATECH Saturn Spectrum 300在晶圆基板上提供一致的曝光剂量，允许更快的生产时间和更少的不可伸缩模式问题。该单元可以编程为在同一晶圆基板上创建相同模式的多个扫描，从而提高吞吐量和生产率。这台机器也可以用来测量剂量，精确度高达百分之几。Saturn Spectrum 300的设计融合了全面的安全特性，包括内置的安全装置，以保护晶片免受紫外线和电子束辐射。其他安全特性包括防止光学损坏基板的光栅，以及消除杂光效应的防眩光滤镜。该工具还集成了双级冷却资产,以确保精确的温度范围和最佳的工艺性能。ULTRATECH Saturn Spectrum 300能够以最高的可靠性产生高解析度的图样。其先进的算法驱动技术使其能够获得最高的准确性和可重复性。它为广泛的工艺操作提供了无与伦比的支持，包括基材暴露、基材分期、模式配准等等。Saturn Spectrum 300晶圆步进器由于其用户友好的设计和先进的功能，是半导体Fab操作必不可少的工具。