二手 ULTRATECH Saturn Spectrum 300 #9357231 待售

ULTRATECH Saturn Spectrum 300是一种高性能晶圆步进器，专为大规模生产先进半导体器件而设计。该机在半导体加工中达到优异的产量和吞吐量性能，工作面积30 x 30厘米。它是一种溷合内置投影步进器，具有大面积镜头设备和全自动扫描能力，适合亚微米光刻应用。该系统配备了两个独立的光子成像系统，使其能够处理立体光刻，而无需使用光掩模适配器。它能够处理正负光刻胶，使其成为抵抗加工的理想之选。此外，独特的'边缘跳跃'特性允许在晶圆上精确定位触点。土星光谱300利用先进的九轴运动控制单元，在半导体曝光时实现精确的重复性和稳定性。它设计为高度稳定和可靠,并且能够在操作过程中损失不到其总扫描面积的5%。与传统的晶圆步进器相比,该机器的运动部件更少,从而提高了效率并降低了维护成本。它采用全玻璃主光学路径,可确保高性能和超低失真率。此外，它使用空气-水雾冷却，确保了均匀的凉爽而不影响光路。这有助于提高图像和吞吐量性能。ULTRATECH Saturn Spectrum 300由功能强大但用户友好的软件包控制，为用户提供了各种半导体处理要求的易于操作和灵活性。它还提供了高级数据管理功能,如自动更正错误和完全扫描召回机。土星光谱300是前沿半导体加工的理想工具。它提供了优越的产量和吞吐量,最大限度地减少了因尺寸或材料变化而造成的中断,并且具有很高的可靠性和经济效益。它旨在满足最高的精度和准确性标准,并为当今最先进的半导体器件的生产提供最新的性能水平。