二手 HERMES MICROVISION / HMI Epointer2-VC #293666859 待售

HERMES MICROVISION/HMI Epointer2-VC是一种晶圆测试和计量设备，设计用于测量微米范围内的特征。该系统利用基于视觉的计量技术来实现纳米分辨率。该单元由成像头、视觉控制器、控制单元、检测软件组成。成像头结合了电动物镜和成像光学器件，以获取高分辨率图像。物镜提供可变数值孔径（NA）高达0.3,视野高达50mm x 50mm。成像光学器件包含一个LED照明器、照相机和接口板来控制光学器件。照明器为图像采集提供恒定的亮度，照相机能够以1 MP的速度捕捉图像。控制单元集成了必要的硬件和软件组件来执行测量和测试任务。它配备了PC兼容的微处理器、固态存储、用户界面以及与视觉控制器的连接。检测软件与成像头和控制单元协同工作，处理图像并执行测量任务。软件可以检测边缘和轮廓位置等特征，引导对表面不规则的感知，测量粒度。最后，视觉控制器引导成像头在特定测试位置的移动，并将所有测量结果合并到测试报告中。综上所述，HMI Epointer2-VC是一种综合计量机器，利用基于视觉的技术来实现纳米分辨率，从而能够精确测量小至1微米晶片上的特征。