二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #129994 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是专门为半导体行业设计的自动化高分辨率检验计量设备。它用于测试和检查失败的或非功能性的硅片和光掩模。该系统能够测量晶片正面和背面的电气特性和地形。该装置还能够准确查明和隔离缺陷，无论这些缺陷是由于微观负载、污染还是物理缺陷造成的。KLA 4000 SURFSCAN使用专有的脉冲闪光灯光源快速扫描硅表面并检测缺陷。光源产生一个可重复的闪光灯，可以调整，使可视化恰好适合观察材料。机器使用抽头对准传感器,可以确定晶圆和掩模的确切方向。这是计量应用的一个重要特点，其中速度和准确性是重中之重。TENCOR 4000 SURFSCAN还有一个高分辨率显微镜工具，能够将样品材料放大到2000倍。显微镜资产配备了数码相机和图像处理软件，能够检测到宽度小至6微米的缺陷。它能够在不到一秒的时间内获得检验结果。4000 SURFSCAN配备了CCD成像模块，可以精确捕获缺陷图像，并使用X射线软件进行分析。此功能可快速准确地评估所讨论的缺陷,并可用于快速向生产工程师提供反馈。KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN还附有一个内联晶片除霜器，它可以去除由于沉积过程而造成的任何污染。该模型还采用了"眼睛安全"激光，使设备能够精确快速地扫描晶圆表面并检测任何残留、污染或缺陷。KLA 4000 SURFSCAN可用于多种生产过程，系统可轻松从自动操作调整为手动操作。TENCOR 4000 SURFSCAN是一项功能强大且可靠的技术,有助于确保半导体生产质量,对于保持行业平稳高效运行至关重要。