二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #131418 待售
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ID: 131418
晶圆大小: 4", 5", 6"
Wafer inspection system
Unpatterned wafer
Resolution: 0.3 microns at 95%
Capture based on latex calibration wafers
Substrate Material: Silicon
Substrate Thickness: 0.3 - 0.75 mm
Substrate size: 4", 5", 6"
Throughput up to 60 wafers/hour.
KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是一种为了先进的晶圆测试和计量而设计的设备。该系统为用户提供了一种高效、经济高效的测量和检查各种晶圆特性的方法。新的晶圆测试和计量单元以其先进的硬件、智能软件和先进的图像分析能力而闻名。该机利用X1光学显微镜以大视野捕捉样品表面图像。此功能允许进行大面积测量,使用户能够以最小的工作量快速准确地获得所需的数据。X1显微镜还配备了自动聚焦功能,减少测量时的用户误差。该工具还包含一个模式识别算法,允许自动测量和缺陷识别。此算法旨在检测与所需阵列大小、形状和曲面拓扑的微小偏差。此外,该资产还具有一个专有软件引擎,该引擎允许进行高级测量和缺陷识别。此软件使用户能够定义阈值、设置参数、设置流程流以及执行后处理操作。KLA 4000 SURFSCAN还为用户提供了一系列其他创新功能。例如,它支持维度计量测量等广泛的晶圆测试项目。此外,它还能够检测或定位即使是最困难的表面上最困难的缺陷。该型号还兼容许多标准格式,包括STDF、ITRF和SAW。为保证高性能,设备包括各种安全特性。这包括自动曝光控制以保持优化的成像级别,以及内置的过压保护功能,以保护样品免受损坏。TENCOR 4000 SURFSCAN还包括一个高精度真空级,可确保精确的对准和一致的样品处理。总体而言,4000 SURFSCAN是一种可靠、经济的晶圆测试和计量系统。凭借其先进的图像分析功能和强大的软件引擎,它为用户提供了一种高效、经济高效的优化晶圆特性和快速识别缺陷的方法。
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