二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #293590366 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是专门为提供晶圆地形高精度测量而设计的晶圆测试和计量设备。该系统由光学显微镜、精密c轴级、干涉测量仪、扫描隧道显微镜、光学散射仪和统计分析单元组成。该机器的设计目的是对晶圆的整个地形进行完整的分析，包括尺寸、形状和表面的可变性。KLA 4000 SURFSCAN的光学显微镜装有高品质的数码相机，提供晶圆地形的高解析度影像。然后可以使用精密c轴级分析这些数据。C轴级能够在x轴和y轴中移动晶圆，从而能够进行极精确的测量，直至达到纳米尺度。精密c轴级也能实现自动化，为每个测量提供可重复的精度。TENCOR 4000 SURFSCAN的干涉剖面仪能够测量晶圆表面的精细细节。这些剖面仪能够揭示到原子水平的高度变化，并生成晶圆地形的高分辨率3D图像。高分辨率图像提供了对表面均匀性和特征的宝贵见解。此外,4000 SURFSCAN工具还配备了能够检测表面粗糙度、纹理和散射模式的光学散射计。光学散射计能够区分晶圆上的不同特征类型并量化其尺寸。最后,KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN配备了精密的统计分析资产。这个模型提供了干涉和散射分析的自动关联，以产生一个晶圆的地形强大的可视化。此设备可用于优化产量、提高均匀性和降低制造成本。KLA 4000 SURFSCAN是一个功能强大的晶圆测试和计量系统。它结合了高质量的光学显微镜、高度精确的c轴级、干涉测量仪、扫描隧道显微镜和光学散射仪，提供了详细了解晶圆地形所需的信息。该单元能够提供曲面特征的详细高度图和3D图像,检测曲面粗糙度和纹理,并生成强大的可视化效果,以优化产量并降低制造成本。