二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #3787 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是为大体积半导体生产而设计的晶圆测试和计量设备。该系统提供了用于图样化和凹凸计量表征的最新技术。用于缺陷检测、临界尺寸（CD）测量和迭加对准，以确保晶片满足生产要求。该单元具有高精度级和先进的光学器件。它在真空环境中运行，可以从设备级别到大型测试芯片进行测量。该机还包括高速级，将扫描范围扩大到比标准工具快45倍。它的四轴扫描在单个设置中为用户提供了灵活性。该工具配备了几个功能，使晶圆检测更快、更准确。它的嵌入式体系结构加速了完整计量所需的多次扫描。它还具有加速晶圆缺陷表征的板载数据分析。此外,它还在需要时提供现场硬件升级。KLA 4000 SURFSCAN具有直观的图形用户界面,可简化用户与资产的交互。高级模式识别、实时分析和一系列报告工具使用户能够轻松创建检查报告。该模型还具有一系列自动模式,可提高吞吐量,同时降低总体拥有成本。它能够以可重复的精度测量小特征和复杂几何形状。此外，其低损耗光源能够进行晶圆测量，而不会对设备性能产生负面影响。该设备具有先进的计量能力。它可以测量一系列特征和结构,包括纳米结构、临界尺寸、迭加对齐方式、线宽和形状。该系统采用多种探测技术获取高分辨率图像并进行全面分析。TENCOR 4000 SURFSCAN为制造过程提供灵活、强大的测试和计量。其广泛的测量能力和高精度使其成为大容量晶圆检测和表征的理想解决方桉。