二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9157364 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是一种下一代、最先进的晶圆测试和计量设备。它旨在提供对阵列晶片的快速、精确和自动化检查,从而实现过程监控、缺陷管理和提高产量。该系统由轻量光学显微镜子系统、声学成像子系统和图像处理子系统组成。Surfscan的光学子系统使用了先进的成像能力，以允许进行高分辨率缺陷检查和多放大倍数的尺寸/形态测量。该设备利用暗场和亮场显微镜特性以及可选的紫外线照明，实现了广泛的晶圆检测应用。它能够精确地检测和成像图桉化晶片上的亚微米级缺陷。KLA 4000 SURFSCAN的声学成像子系统利用激光声学显微镜在广泛的晶圆尺寸和厚度范围内提供非破坏性焦特征。这一特性对于检测超低k电介质中的缺陷和检查晶片深处的埋层特别有用。声学成像子系统能够检测到300 nm至10微米的特征大小，并对类似特征和各种缺陷类型进行高度区分。Surfscan的图像处理和分析子系统利用先进的算法来执行自动图像分割、模式识别和图像分类。它还具有检测已定义进程内的变化、识别模式和表征各种晶圆特征和缺陷的能力。图像处理和分析机的设计旨在详细概述晶片在初始检查和晶片运行时监控过程中的特性。这样可以快速进行故障排除,并允许快速接受产品。TENCOR 4000 SURFSCAN为晶圆测试和计量提供了高效、经济高效的解决方桉。它结合了先进的成像能力、声学成像以及图像处理和分析能力，能够以高精度和准确度检测和表征各种缺陷。此工具非常适合晶圆测试、过程监控和缺陷管理,允许制造商在降低成本的同时提高产量。