二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9160808 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是一种自动化晶片测试和计量设备，设计用于检查半导体晶片的物理缺陷、电气短路和参数合规性，以降低制造成本和提高产品质量。它采用了激光扫描、光学散射、磁光剖面测量、散射测量和二维图像传感器计量等多种技术。该系统集成了各种自动化技术，如机器视觉、机器人技术和过程控制，以准确高效地测量晶圆层的电气特性、线宽、厚度等特征。集成单元还包括高速扫描、高级软件控制以及设备测试和检查能力。Surfscan 4000机器包含多个硬件组件,其中包括一个自动探测站,用于快速、准确地测试晶片。该工具还包括扫描激光干涉仪（SLI）、电气测试夹具（ETF）、专用相机和分析处理器等几种数据收集仪器，用于分析收集到的数据。该资产还包括允许准确复制测试过程的过程控制软件,以及支持错误检测的软件功能。Surfscan 4000的光学型号还包括几个组件，如反射轮廓照明设备（RCIS），它沿晶圆表面提供了一个均匀可调的照明场。这使系统能够精确测量曲面轮廓、线宽、角度测量、CD非均匀性和其他特征。该单元被设计用于任何类型的晶圆，从硅，到砷化氙，以及其他材料。Surfscan 4000能够测量和评估复杂的晶片结构，包括3 D结构，适用于成本效益高的晶片检查。该机器还可以配置用于单个晶片和批处理。它可用于大批量生产线的检验，能够提供高性能、高精度的结果，可用于质量控制或研发。总体而言,KLA 4000 SURFSCAN是一种先进的自动化晶圆测试和计量工具,旨在降低制造成本并提高产品质量。它能够对电气特性、线宽、厚度和其他功能进行快速、准确和可重复的测量,以确保晶圆的组件满足行业和客户的要求。