二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9205755 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是一种先进的晶圆测试和计量设备，设计用于提供半导体工业中使用的晶圆的精确地形测量。SURFSCAN系统利用主轴电机驱动级完美对齐和移动晶片，同时采用高度先进的计量算法精确测量晶片的地形和形状。SURFSCAN的先进光学单元包括一个照明的倒置显微镜、4个数字信号处理器、一个LED照明，使显微镜能够精确检测和测量表面缺陷。采用不锈钢参考球，保证测量的准确性和一致性。在测量过程中,SURFSCAN配备了先进的高速CCD摄像机和闪光灯,用于捕捉晶圆表面的详细图像。它具有可变扫描速率，可以根据晶圆的大小和应用程序的具体要求量身定制。晶圆地形数据存储在内存中,可以发送或与其他设备共享。SURFSCAN中采用的计量算法能够在人工测量通常需要的一小部分时间内进行全面的表面分析。该机可提供标准参数如均方根（RMS）粗糙度、峰谷粗糙度、线宽等的详细分析。SURFSCAN易于使用和维护。它具有高级用户界面功能,可以轻松导航和控制所有参数,从扫描速度到测量模式。全自动操作需要最少的操作员干预,并且使用自动校准程序快速校准工具以获得精确、可重复的结果。KLA 4000 SURFSCAN是一种高度精确和先进的晶圆测试和计量资产。其先进的光学模型和先进的计量算法使晶圆能够精确可靠的地形测量。它快速、高效、易于使用和维护,是评估半导体工业中使用的晶片质量的理想选择。