二手 KLA / TENCOR 4000 SURFSCAN #9229798 待售

KLA/TENCOR 4000 SURFSCAN是一种功能强大的晶圆测试和计量设备,在紧凑的封装中提供高精度和稳定性。该系统由梯形成像单元、电动采样级、四个辐射通道、高精度光学激光干涉仪和集成信号处理与控制组成。梯形成像机允许对各种样品类型进行快速和精确的扫描，包括裸片、凸块粘合晶片、双晶片堆栈和多层设备。该工具使用准直器/可编程快门光圈掩码与一系列高分辨率CCD摄像机相结合，以获取特征结构的详细图像，用于评估和比较。电动采样台能够进行精确和可重复的X/Y/Z运动，为精确的晶圆级测量提供了绝佳的平台。X/Y运动由步进电机驱动,并且重迭,从而实现快速且可重复的扫描过程。Z运动由直流电动机驱动,允许Z聚焦,以确保间隙和其他三维测量的最高精度。内置集成激光干涉仪，可调节X/Y平面的样品高度。资产的运作方式是将来自四个不同辐射通道的辐射结合起来：可见波长光谱、近红外光谱、紫外线光谱和紫外线/THz光谱。这种辐射源的组合可以精确地测定晶圆地形，以及评估缺陷和模具性能。辐射通过样品成像模型组合到样品上，然后反射回传感器。KLA 4000 SURFSCAN晶片测试和计量设备提供了对裸片和凸片样品的准确、无损分析。通过将辐射源和光学干涉测量相结合，该系统能够获得模具和结构的全面、高分辨率图像。该装置的设计还便于与自动化处理系统集成，以便在处理大量晶圆时高效利用资源。因此，它是半导体制造工业中故障分析和工艺控制的绝佳工具。